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XYZ(ピッチ、ロール、ヨー)の3軸方向のセンサを用いて物体の角度(回転角度)や角速度(角加速度)を検出する計測器。半導体製造技術やレーザ加工技術などの微細加工技術を応用し、シリコン基板上に微..

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